--- title: Grabado con Plasma de Oxí­geno description: Grabado con Plasma de Oxí­geno - Creación de micro diseños • Eliminación de máscaras con plasma de oxí­geno image: https://www.thierry-corp.com/hubfs/Imported_Blog_Media/plasma-activation-of-medical-test-swabs-Aug-17-2021-04-04-47-39-AM.png --- ![search_icon](https://www.thierry-corp.com/hubfs/Thierry_Aug20/search.png) [![login](https://www.thierry-corp.com/hubfs/Thierry_Aug20/log_in.png) Thierry Germany](https://www.thierry-gmbh.de/en/) [![logo](https://www.thierry-corp.com/hs-fs/hubfs/Thierry_Aug20/logo.png?width=193&height=67&name=logo.png "logo")](https://www.thierry-corp.com/?hsLang=es-mx) [** **Comprar muestras maestras OEM**](https://store.thierry-corp.com/store/) [** Solicitar presupuesto**](https://www.thierry-corp.com/es-mx/plasma/cotizacion-sistema-de-plasma?hsLang=es-mx) ##### [Knowledge Base](https://www.thierry-corp.com/es-mx/plasma-knowledgebase) ##### [Resumen de grabado](https://www.thierry-corp.com/plasma-knowledgebase-blog/tag/Resumen-de-grabado?hsLang=es-mx) ##### Grabado con Plasma de Oxí­geno ![Grabado con Plasma de Oxí­geno](https://www.thierry-corp.com/hs-fs/hubfs/Imported_Blog_Media/plasma-activation-of-medical-test-swabs-Aug-17-2021-04-04-47-39-AM.png?length=500&name=plasma-activation-of-medical-test-swabs-Aug-17-2021-04-04-47-39-AM.png) # Grabado con Plasma de Oxí­geno Grabado con Plasma de Oxí­geno - Creación de micro diseños • Eliminación de máscaras con plasma de oxí­geno El grabado con plasma puede eliminar capas de materiales para crear micro diseños en la superficie, pero para hacer los patrones diseñados se coloca una máscara de grabado en la superficie para usarla como plantilla para el plasma. El plasma no grabará el material debajo de la máscara. Algunas máscaras de grabado están hechas de material orgánico y se denominan fotorresistentes. Después del grabado, es necesario quitar estas máscaras y ese proceso se denomina **grabado con plasma de oxí-geno** o plasma ashing. El **grabado con plasma de oxí-geno** es un paso necesario en la producción de obleas de silicio utilizadas en la fabricación de circuitos integrados. ### Cómo se Realiza el Grabado con Plasma de Oxí-geno El **grabado con plasma de oxí-geno** se realiza mediante sistemas de plasma de baja presión. El oxí-geno se utiliza como gas precursor y se canaliza hacia la cámara de vací-o con la oblea. Luego, se aplican ondas de radio de alta potencia en la cámara y esto, junto con la baja presión de la cámara de vací-o, hace que las moléculas de oxí-geno se ionicen, formando plasma. El **plasma de oxí-geno graba** el fotorresistente convirtiéndolo en ceniza. Luego, la ceniza se elimina a través de la bomba de vací-o. Esta es la razón por la que el **grabado con plasma de oxí-geno** generalmente se conoce como incineración. Para obtener más información sobre el grabado, consulte nuestro libro electrónico titulado "[Estrategia de limpieza y grabado con plasma para una mejor calidad del producto](https://www.thierry-corp.com/es-mx/estrategia-limpieza-grabado-por-plasma?hsLang=es-mx)". [![Plasma-etching-blog](https://www.thierry-corp.com/hs-fs/hubfs/collateral/cta/Plasma-etching-blog.png?width=500&name=Plasma-etching-blog.png)](https://www.thierry-corp.com/es-mx/estrategia-limpieza-grabado-por-plasma?hsLang=es-mx) ### Knowledgebase Topics - [Overview Activation (5)](https://www.thierry-corp.com/plasma-knowledgebase/tag/overview-activation?hsLang=es-mx) - [Overview Cleaning (12)](https://www.thierry-corp.com/plasma-knowledgebase/tag/overview-cleaning?hsLang=es-mx) - [Overview Coating (15)](https://www.thierry-corp.com/plasma-knowledgebase/tag/overview-coating?hsLang=es-mx) - [Overview Etching (20)](https://www.thierry-corp.com/plasma-knowledgebase/tag/overview-etching?hsLang=es-mx) - [Plasma (17)](https://www.thierry-corp.com/plasma-knowledgebase/tag/plasma?hsLang=es-mx) - [Plasma Treatment (1)](https://www.thierry-corp.com/plasma-knowledgebase/tag/plasma-treatment?hsLang=es-mx) - [Surface Energy (8)](https://www.thierry-corp.com/plasma-knowledgebase/tag/surface-energy?hsLang=es-mx) - [Surface Treatment (29)](https://www.thierry-corp.com/plasma-knowledgebase/tag/surface-treatment?hsLang=es-mx) Plasma Systems ![thierry-plasma-systems_Pico-version-4](https://www.thierry-corp.com/hubfs/Thierry_Aug20/Plasma_systems/products/thierry-plasma-systems_Pico-version-4.png) [ Learn more ](https://www.thierry-corp.com/plasma-systems?hsLang=es-mx) Plasma Applications ![microfluidic-biochip-to-identify-proteins](https://www.thierry-corp.com/hubfs/blog-images/microfluidic-biochip-to-identify-proteins.jpg) [ Learn more ](https://www.thierry-corp.com/plasma-technology/applications?hsLang=es-mx) [![New call-to-action](https://no-cache.hubspot.com/cta/default/7474424/1537f799-dcc2-4de3-b3e2-e5cb09318ca1.png)](https://cta-redirect.hubspot.com/cta/redirect/7474424/1537f799-dcc2-4de3-b3e2-e5cb09318ca1) **Contacto** Thierry Corporation 4319 Normandy Court Royal Oak, MI 48073, EUA **Teléfono:** [+1 (248) 549 8600](tel:+1485498600) **Fax:** [+1 (248) 549 3533](fax:+12485493533) [info@thierry-corp.com](mailto:info@thierry-corp.com) © 2026 Todos los derechos reservados - Thierry Corp. | [Política de Privacidad](https://www.thierry-corp.com/privacy-policy?hsLang=es-mx) | [Términos de uso](https://www.thierry-corp.com/terms-conditions?hsLang=es-mx) ```json { "@context" : "https://schema.org", "@type" : "BlogPosting", "author" : { "@type" : "Person", "name" : "George Osenga", "url" : "https://www.thierry-corp.com/es-mx/plasma-knowledgebase/author/george-osenga" }, "dateModified" : "2021-09-10T06:37:28.779Z", "datePublished" : "2021-09-01T08:50:46.000Z", "headline" : "Grabado con Plasma de Oxí­geno", "image" : [ "https://www.thierry-corp.com/hubfs/Imported_Blog_Media/plasma-activation-of-medical-test-swabs-Aug-17-2021-04-04-47-39-AM.png" ], "mainEntityOfPage" : { "@id" : "https://www.thierry-corp.com/es-mx/plasma-knowledgebase/grabado-con-plasma-de-oxígeno", "@type" : "WebPage" }, "publisher" : { "@type" : "Organization", "logo" : { "@type" : "ImageObject", "url" : "https://www.thierry-corp.com/hubfs/thierry-logo.png" }, "name" : "Thierry Corp" } } ```