Recubrimiento de superficies con sistema PECVD

Revestimiento de superficies con PECVD - Optimización del rendimiento de la superficie • posibilidades de aplicación versátiles

Una de las aplicaciones de la tecnología del plasma es el recubrimiento superficial de sustratos para mejorar u optimizar el rendimiento en las aplicaciones para las que están destinados. Seleccionando el medio de tratamiento adecuado, es posible obtener recubrimientos hidrófilos o hidrófobos sobre un sustrato, así como recubrimientos con otras propiedades, como antirreflectantes; aislante o conductor, y resistencia al desgaste. Dependiendo de varios factores, entre los que se encuentran la naturaleza del sustrato y el tipo de recubrimiento que desee, puede optar por la deposición física de vapor (PVD) o la deposición química de vapor mejorada con plasma (PECVD). Thierry ofrece asesoramiento a sus clientes a la hora de elegir el sistema de plasma que mejor se adapte a sus necesidades, y luego les ayuda a adaptar un proceso personalizado para obtener resultados óptimos.

Aplicaciones de los sistemas PECVD

Los sistemas PECVD tienen muchas aplicaciones. Algunos ejemplos de tipos de recubrimientos aplicados por PECVD en diferentes áreas son: (1) recubrimientos aislantes o semiconductores conductivos en electrónica, (2) recubrimientos de barrera contra la humedad o ciertos químicos en embotellado y empaque de fabricación, (3) antirreflejos o rayaduras- recubrimientos resistentes en óptica (4) recubrimientos resistentes al desgaste, corrosión, fricción y altas temperaturas en ingeniería mecánica, y (5) recubrimientos fotosensibles en microelectrónica.

Estos ejemplos ilustran la variedad de recubrimientos con características especiales que puede aplicar PECVD. Pero no solo eso; con este método, las tasas de deposición son altas y las temperaturas de funcionamiento son considerablemente más bajas que el CVD activado térmicamente, lo que lo convierte en la mejor opción cuando se trabaja con sustratos térmicamente sensibles. Además, como generalmente se opera a presiones reducidas, este método también ofrece un recubrimiento más uniforme, incluso en piezas de trabajo tridimensionales.

Para obtener más información sobre el uso del plasma en la fabricación, lea nuestro libro electrónico titulado "Guía de activación de superficies del fabricante para una mejor adherencia".

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