Plasma Knowledge Base

Se puede medir la pérdida de peso del material? (Plasma de baja presión)

Escrito por George Osenga | Sep 1, 2021 4:44:03 AM

Sí-, según la prueba de homogeneidad, la velocidad de grabado se puede determinar mediante la pérdida de peso.

Para ello, los portaobjetos se pegan con cinta de PE y se pesan antes y después del tratamiento con plasma. La diferencia puede entonces proporcionar información sobre la tasa de grabado.

El pesaje debe realizarse en una balanza analí-tica, ya que la pérdida de peso es muy baja.

Para obtener más información sobre el grabado, consulte nuestro libro electrónico titulado "Estrategia de limpieza y grabado con plasma para una mejor calidad del producto".