Confección de un incinerador de plasma al gusto del cliente

 
La tecnología de plasma y los incineradores de plasma pueden personalizarse para satisfacer las necesidades del cliente. Thierry Corporation toma en cuenta la solicitud de especificaciones diferentes a las de sus sistemas estándar y las implementa. Algunas especificaciones pueden incluir el tamaño de la cámara, el material del incinerador de plasma y el número de bandejas. Thierry ha fabricado sistemas de plasma a baja presión con cámaras cuyos volúmenes van desde 2 litros hasta 12,600 litros. Thierry también puede ayudar a seleccionar el mejor incinerador de plasma para las aplicaciones de su cliente, así como proporcionar asesoría posterior para diagnosticar y resolver problemas y mantener la calidad y condiciones adecuadas del incinerador de plasma. Unas alternativas de bajo costo al incinerador de plasma son los sistemas ZEPTO y ATTO. Estos no cuentan con una amplia variedad de opciones pero son muy recomendables para clientes que no tienen la necesidad de usar la tecnología frecuentemente, por lo que desean una opción más económica.

Grabadores de plasma y selectividad

 
La selectividad de los grabadores de plasma depende del material que se desee grabar, el material de enmascaramiento y los gases de grabado. La definición de selectividad es la razón de la velocidad de grabado de un material con respecto a la del otro. Los sistemas de grabado con plasma representan una opción económica cuando la velocidad de grabado es elevada. Además, la selectividad también debe ser alta, esto es, que los gases de grabado deben eliminar selectivamente el material deseado con una eliminación mínima (si no nula) del material de enmascaramiento y el que se encuentra debajo de él. Otros requerimientos de los grabadores de plasma son alta anisotropía, reproducibilidad y uniformidad.
 
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