¿Qué es la incineración con plasma?

 
Cuando se graba una superficie con plasma para crear patrones, por ejemplo, en la fabricación de tarjetas de circuitos impresos, se coloca algo conocido como material fotosensible o máscara de grabado sobre la superficie que va a ser tratada para trazar el patrón. Entonces, los iones de plasma graban en torno a dicho material. Después de concluida esta primera etapa, el material fotosensible se tiene que retirar de la superficie sin eliminar ninguna otra parte, de modo que sólo permanezca el patrón superficial deseado sobre el material. Esta segunda etapa se conoce como incineración con plasma (plasma ashing). La incineración con plasma es una parte necesaria en la producción de tarjetas de circuitos impresos, los cuales son componentes cruciales en casi todos los dispositivos eléctricos. Los incineradores de plasma también se conocen como grabadores de plasma porque la misma máquina puede emplearse para llevar a cabo ambos procesos.

¿Cómo se realiza la incineración con plasma?

 
Con un sistema de plasma a baja presión de Thierry es posible limpiar, grabar, e incinerar superficies con plasma. Esto se lleva a cabo sacando ventaja de las características de diferentes tipos de plasma. La incineración con plasma de una superficie requiere introducir oxígeno (O2) en la cámara de vacío. Éste se ioniza y se convierte en plasma de oxígeno, y ya en esta forma puede emplearse para oxidar o incinerar con plasma el material fotosensible. Esto contribuye a eliminar la máscara de grabado.
 
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