Diferencias entre los diferentes tipos de tratamiento con plasma, en particular el recubrimiento con plasma

 
Uno de los objetivos específicos de los tratamientos con plasma es recubrir con plasma. Hay dos maneras de recubrir con plasma: la deposición química de vapor asistida por plasma (PECVD, por sus siglas en ingles) y la deposición física de vapor (PVD). La PECVD es un proceso de deposición química de vapor que emplea un plasma frío y temperaturas de deposición muy bajas en comparación con las temperaturas usadas en los reactores de CVD. La PECVD tiene un amplio rango de aplicaciones, un ejemplo de las cuales es la aplicación de capas resistentes al rayado en óptica. Algunas de las ventajas de la PECVD son el bajo suministro de energía y la uniformidad de la capa depositada. Además, las capas creadas por la PECVD pueden ser de mejor calidad en comparación con las de la CVD, con una probabilidad de resquebrajamiento menor. También es relativamente fácil limpiar la cámara después del proceso de PECVD, lo cual es importante porque las películas gruesas que se forman en las paredes de la cámara pueden contaminar la superficie del sustrato (si la cámara no se limpia bien).Los procesos de deposición física de vapor (PVD, por sus siglas en inglés) se emplean para recubrir superficies con el fin de aumentar la resistencia de los materiales al desgaste y la oxidación. Otros propósitos son incrementar la dureza y tiempo de vida del material. A diferencia de la deposición química de vapor (CVD), en la que el material depositado se encuentra originalmente en forma gaseosa, el material depositado en la PVD está en estado sólido. La PVD ocurre bajo condiciones de vacío y consta de cuatro etapas:1. El material que se va a depositar es evaporado con plasma. 2. Se introduce una especie reactiva en fase gaseosa. 3. El gas reactivo forma un compuesto con el vapor formado en la primera etapa.4. El compuesto se deposita en el sustrato.

Introducción sobre los tratamientos con plasma

 
El plasma es uno de los cuatro estados de la materia; es un gas ionizado con la misma cantidad de cargas positivas y negativas libres. Si se añade suficiente energía a un sistema en estado sólido, éste se transforma sucesivamente en líquido, gas y plasma. El plasma cambia las propiedades superficiales del material al transferir energía adicional y favorecer reacciones. El plasma puede cambiar las propiedades superficiales sin alterar las propiedades de bulto del material. Las reacciones entre la superficie del material y el gas de proceso controlan el resultado del tratamiento con plasma. El tratamiento con plasma se usa para limpiar con plasma, así como para activar, grabar y recubrir con plasma. Sus aplicaciones van desde la activación superficial de textiles antes de imprimirlos hasta la limpieza superficial de equipo médico. El tratamiento con plasma es un proceso muy amigable con el ambiente y de bajo costo. Además es una de las mejores opciones para limpiar superficies de materiales.
 
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