Frecuencia del plasma

Los generadores de plasma pueden operar a diferentes frecuencias de plasma. La frecuencia del plasma determina el comportamiento de los iones del plasma.

Los generadores de plasma pueden operar a diferentes frecuencias de plasma. La frecuencia del plasma determina el comportamiento de los iones del plasma. Cuando los sistemas de plasma funcionan con una frecuencia del plasma baja, la longitud de onda es grande y, en consecuencia, también la energía cinética de los iones. A menor frecuencia del plasma, mayor es la densidad de iones. Esto significa que hay más partículas de plasma por unidad de área. A mayor frecuencia del plasma, menor longitud de onda, lo cual tiene como resultado un grabado más rápido pero con un requerimiento mayor de energía para operar. 

Rangos de la frecuencia del plasma

Los rangos de frecuencia del plasma con los que más comúnmente operan los sistemas de  tecnología de plasma de Thierry son tres: 40 kHz, 13.56 MHz y 2.45 GHz. La frecuencia de plasma de 40 kHz se emplea generalmente para limpieza con plasma o eliminación de residuos (desmearing); también puede usarse para grabado, pero requiere más tiempo.  Para el grabado con plasma generalmente se usa una frecuencia de plasma de 13.56 MHz, la cual permite mayor rapidez y es el estándar a nivel mundial. La frecuencia de plasma de 2.45 GHz se emplea para obtener un grabado aun más rápido y es la frecuencia más efectiva para promover reacciones químicas al realizar grabado con plasma reactivo.