Sí, según la prueba de homogeneidad, la velocidad de grabado se puede determinar mediante la pérdida de peso
Sí-, según la prueba de homogeneidad, la velocidad de grabado se puede determinar mediante la pérdida de peso.
Para ello, los portaobjetos se pegan con cinta de PE y se pesan antes y después del tratamiento con plasma. La diferencia puede entonces proporcionar información sobre la tasa de grabado.
El pesaje debe realizarse en una balanza analí-tica, ya que la pérdida de peso es muy baja.
Para obtener más información sobre el grabado, consulte nuestro libro electrónico titulado "Estrategia de limpieza y grabado con plasma para una mejor calidad del producto".
Thierry Germany